事業内容
1.超高純度ガス供給配管工事、設計、施工
2.シリンダーキャビネット、ガスコントロールBOX等設計、製作
3.各種ガス精製装置及び排ガス処理装置製作
4.各種高圧ガス販売
5.各種電気工事、設計、施工
6.各種ガス関連メンテナンス
7.半導体製造装置改造及びメンテナンス等
8.半導体製造装置廻り各種配管及び電気工事
9.半導体製造装置関連各種安全対策ユニット 設計、製作、施工
(漏水検知機、局所排気(ガス検知器連動)、排気希釈(N2)、排気切替、配管ヒーター、他)
10.半導体関連装置用クリーンベンチ設計、製作、施工
取扱い製品
1.半導体関連超高純度ガス配管工事、設計、施工
2.全自動、半自動、手動型シリンダーキャビネット
3.各種ガス精製装置製作
4.排ガス処理装置製作
5.各種ガスコントロールユニット設計、製作
6.マルチファンクションコンビネーションボックス 設計、製作、施工
(半導体製造装置廻りの各種安全対策)
7.工場クリーン化対策品(クリーンベンチ、キャビネット、棚)
8.真空関連機器、高周波ジェネレーター販売
9.各種高圧ガス販売
10.半導体製造装置用チラー販売
・本社
〒870-0316
大分県大分市大字一木1212-150
TEL/097-593-4777(代)
FAX/097-593-0004
・四日市事業所
〒510-0064
三重県四日市市新正3丁目6-7
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・宮崎事業所・長崎事業所